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數字式位移傳感器

作者:佚名    文章來源:本站原創    點擊數:    更新時間:2019-01-23
光柵由標尺光柵和指示光柵組成,兩者的光刻密度相同,但體長相差很多,其結構如圖1所示。

圖1 光柵測量原理
指示光柵上出現莫爾條紋,它們是沿著與光柵條紋幾乎成垂直的方向排列的,如圖2所示。

圖2 莫爾條紋示意
光柵莫爾條紋的特點是起放大作用,用W表示條紋寬度,P表示柵距,θ表示光柵條紋間的夾角,則有

光柵測量系統的基本構成如圖3所示。

圖3 光柵測量系統
1.感應同步器
1)直線感應同步器
由定尺和滑尺兩部分組成。
滑尺表面刻有兩個繞組,即正弦繞組和余弦繞組,見圖4。

圖4 感應同步器原理圖
2)圓盤式感應同步器
如圖5所示,其轉子相當于直線感應同步器的滑尺,定子相當于定尺,而且定子繞組中的兩個繞組也錯開1/4節距。

圖5 圓盤式感應同步器
(a) 定子; (b) 轉子
感應同步器根據其激磁繞組供電電壓形式不同,分為鑒相測量方式和鑒幅測量方式。
1 鑒相式
根據感應電勢的相位來鑒別位移量。
圖6說明了感應電勢幅值與定尺和滑尺相對位置的關系。

圖6 滑尺繞組位置與定尺感應電勢幅值的變化關系
滑尺在定尺上每滑動一個節距,定尺繞組感應電勢就變化了一個周期,即
eA=Ku–Acosθ(4-11)
式中: ;
K——滑尺和定尺的電磁耦合系數; 
θ——滑尺和定尺相對位移的折算角。
若繞組的節距為W,相對位移為l,則

同樣,當僅對正弦繞組B施加交流激磁電壓UB時,定尺繞組感應電勢為
e B=-Ku B sinθ (4-13)
對滑尺上兩個繞組同時加激磁電壓,則定尺繞組上所感應的總電勢為
 e =e A+eB=Ku Acosθ-KuBsinθ
=KUmsinωt cosω-KU mcosωtsinω
=KUmsin (ωt-θ) (4-14)
從上式可以看出,感應同步器把滑尺相對定尺的位移l的變化轉成感應電勢相角θ的變化。因此,只要測得相角θ,就可以知道滑尺的相對位移l:


2)鑒幅式
在滑尺的兩個繞組上施加頻率和相位均相同,但幅值不同的交流激磁電壓uA和uB。 
uA=Umsinθ-1sinωt (4-16)
uB=Umcosθ -1 sinωt (4-17)
式中: θ1——指令位移角。
設此時滑尺繞組與定尺繞組的相對位移角為θ,則定尺繞組上的感應電勢為
e =KuA cosθ-KuBsinθ=KUm(sinθ -1 cosθ-cosθ-1sinθ)sinωt=KUmsin (θ1-θ) sinωt (4-18)
Tags:位移傳感器,傳感器  
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